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单晶圆擦洗技术及优化方案的研究
单晶圆擦洗技术及优化方案的研究
来源 :清洗世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jixiong520
【摘 要】
:
本文基于单晶圆擦洗的原理,分析了单晶圆擦洗常见的两种方案的缺点,提出了适合单晶圆擦洗的优化方案。
【作 者】
:
王文丽
黄鑫亮
夏楠君
祝福生
赵宝君
王勇威
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
清洗世界
【发表日期】
:
2019年6期
【关键词】
:
单晶圆
擦洗
优化
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本文基于单晶圆擦洗的原理,分析了单晶圆擦洗常见的两种方案的缺点,提出了适合单晶圆擦洗的优化方案。
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