基于液体摆的双轴电容式倾角传感器

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为了克服现有倾角测量传感器制作工艺复杂、价格昂贵和操作困难的缺点,根据液体在电极间流动时电容的变化,设计了一种液体摆双轴电容式倾角传感器,推导了传感器的偏转角度与电容值之间的关系模型,并对传感器在单轴和全方位偏转角度下的响应进行分析。测试结果表明,此传感器在内轴和外轴上的灵敏度分别为0.021 5 pF/°和0.034 7 pF/°,测量精度达到了0.3°和0.4°,双轴测量范围为±70°,响应时间小于0.5 s。其在室温下性能稳定、受振动干扰较小,能够精确检测机械臂的偏转状态。由于采用聚合物材料一
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