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射频超导谐振腔以其优越性在加速器领域起到了常温加速腔无法替代的作用.超导腔的表面特性直接影响到加速腔的性能.为进一步提高超导腔的加速性能,北京大学利用超高真空氩离子清洗技术发展了一种超导腔表面的干式处理方法.与传统的湿处理方法(化学抛光BCP和电抛光EP)相比,干式处理方法具有其特有的优点,有可能成为一种新的超导腔表面处理方法,对提高加速腔的性能起到推动作用.进一步的研究正在进行之中.