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综述了扫描探针显微镜在激光纳米加工技术上应用的最新进展,介绍了纳米结构的形成机理。
扫描探针显微镜在激光纳米加工技术上的应用和进展
【摘 要】
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综述了扫描探针显微镜在激光纳米加工技术上应用的最新进展,介绍了纳米结构的形成机理。
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800,上海201800,上海201800
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2004年01期
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