多晶硅太阳能电池PECVD四层氮化硅减反射膜工艺

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随着当前科学技术的不断发展,人们生产生活的方式改变,对于能源的需求也正在不断的增加.太阳能作为绿色清洁能源,如何高效的收集并利用太阳能源是当前人们广泛面临的问题.而太阳能电池的出现在很大程度上解决了太阳能源的转换问题,促进了可持续性发展战略的落实.在当前的太阳能电池中,通过PECVD系统技术的使用,能够在多晶硅片表面形成氮化硅的薄膜,从而形成一张保护的作用,可以减少反射的能量损失,极大的提升太阳能电池的转换效率.接下来,本文就从实际制作的四层氮化硅减反射薄膜入手,对其光电转换率以及折射率等情况进行检测,促进多晶硅太阳能电池PECVD四层氮化硅减反射膜工艺的进步与发展.
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