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<正>与国外半导体装备巨头相比,国内厂商仍存较大差距,当前国内高端制造装备大多仍需依赖进口。专家表示,国产半导体装备业亟须努力突破核心技术,加大资本投入,构建完善生态链体系。1国产半导体设备业迅速崛起据中国科学院微电子研究所所长叶甜春介绍,近年来国内外市场需求为国产半导体装备业提供了历史性发展机遇。目前一批极大规模集成