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采用深刻蚀SiO2脊型波导，利用其弯曲半径小的优点，设计了一种紧凑型1×2多模干涉功分器．在输入／输出波导与多模干涉区域之间引入了逆向锥形波导，有效地减小了输出波导间距，从而减小了多模干涉区域宽度及其长度，进一步实现了多模干涉器件的小型化（仅为150μm×20μm）．并采用三维束传播方法对多模干涉区域及输入／输出波导中的光场传输进行了模拟仿真，得到了一组最优参量设计值，从而实现其结构优化．