【摘 要】
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双工件台光刻机的控制系统采用上下位机模式。上位机采用C＋＋Builder编写的人机控制界面,下位机采用基于VME总线的工控机,采用VxWorks嵌入式操作系统。上位机通过人机界面发送控
【基金项目】
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国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207)
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双工件台光刻机的控制系统采用上下位机模式。上位机采用C＋＋Builder编写的人机控制界面,下位机采用基于VME总线的工控机,采用VxWorks嵌入式操作系统。上位机通过人机界面发送控制指令和参数;下位机则通过VME总线在不同时刻采集各个板卡的数据,分析系统当前的状态,并将不同指令在不同时刻通过VME总线传给各个控制板卡。VxWorks操作系统是整个下位机的核心,本设计采用Workbench集成开发环境,利用MC7448A的IC-e6-VMEa为主板卡,移植VxWorks操作系统。
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