MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应

来源 :吉林大学学报(理学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:huishou2088
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从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发,求解雷诺方程,得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式.通过求解动力学方程,给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响.
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