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期刊论文
MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应
MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应
来源 :吉林大学学报(理学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:huishou2088
【摘 要】
:
从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发,求解雷诺方程,得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式.通过求解动力学方程,给出空气压膜阻尼效应对于光开关
【作 者】
:
孙东明
董玮
郭文滨
刘彩霞
王国东
徐宝琨
陈维友
【机 构】
:
吉林大学
【出 处】
:
吉林大学学报(理学版)
【发表日期】
:
2005年3期
【关键词】
:
空气压膜阻尼效应
微机械光电系统
雷诺方程
倾斜下电极
响应时间
air squeeze film damping effect
micro-opto-ele
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从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发,求解雷诺方程,得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式.通过求解动力学方程,给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响.
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