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为了制作大尺寸激光防伪商标，开发了高速激光点阵光刻机。该光刻机以工控机为上位机，ARMLPC2138和单片机STCl2C5401AD为下位机，采用直线电机直接驱动X-Y工作台，实现了高速高精度定位。
高速激光点阵光刻机的设计
【摘 要】
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为了制作大尺寸激光防伪商标，开发了高速激光点阵光刻机。该光刻机以工控机为上位机，ARMLPC2138和单片机STCl2C5401AD为下位机，采用直线电机直接驱动X-Y工作台，实现了高速高精度
【机 构】
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苏州工业职业技术学院电子工程系,苏州印象镭射有限公司
【出 处】
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电子技术应用
【发表日期】
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2012年5期
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