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在多晶硅生产中,应用填料式氯硅烷冷凝储存设备对含氯硅烷的尾气进行回收。该冷凝储存设备可以起到一定的除杂作用,提高冷媒冷量的利用率,降低设备的制造成本,最终降低尾气中氯硅烷的回收成本。同时,还起到一定的精馏提纯作用。设备主要由冷凝器、储存罐、填料式塔板以及相应的控制系统组成,通过DCS控制系统实现自动控制。