【摘 要】
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以正硅酸乙酯、异丙醇铝为先驱体，甲基三乙氧基硅烷为有机硅烷，采用溶胶一凝胶旋涂方法在普通玻璃和硅片表面镀制纳米复合薄膜。通过FT-IR、VIS透射光谱的分析及薄膜表面接触角
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以正硅酸乙酯、异丙醇铝为先驱体，甲基三乙氧基硅烷为有机硅烷，采用溶胶一凝胶旋涂方法在普通玻璃和硅片表面镀制纳米复合薄膜。通过FT-IR、VIS透射光谱的分析及薄膜表面接触角的测量，研究了Al2O3与SiO2配比和热处理温度对复合薄膜的化学结构、透光率及疏水性的影响。结果表明该薄膜具有疏水、致密、透明等性能；Al2O3的加入未降低复合薄膜的可见光透光率，其中经400℃热处理后不同配比复合薄膜在可见光区的透光率均大于85％，且不影响复合薄膜的疏水性。
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