【摘 要】
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通过直流磁控反应溅射装置,在蓝宝石（0001）衬底和氮化的蓝宝石（0001）衬底上成功制备了氮化铝（AIN）薄膜。利用X射线衍射仪、原子力学显微镜和双光束扫描分光计,研究了蓝宝石氮化对AI
【机 构】
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发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院
【基金项目】
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国家自然科学基金（51072196,51072195）资助项目
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通过直流磁控反应溅射装置,在蓝宝石（0001）衬底和氮化的蓝宝石（0001）衬底上成功制备了氮化铝（AIN）薄膜。利用X射线衍射仪、原子力学显微镜和双光束扫描分光计,研究了蓝宝石氮化对AIN薄膜结构、应力、晶粒尺寸、形貌和光学性质的影响。X射线衍射研究表明：制备的AIN薄膜具有较强的（0002）择优取向,蓝宝石衬底的氮化不仅能够改善AIN结晶质量,而且还可以减少薄膜的残余应力。但是,原子力学显微镜结果表明：在蓝宝石衬底上制备的AIN薄膜的晶粒大小分布比在氮化的蓝宝石衬底上制备的AIN薄膜的晶粒大小分布更加
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横山明聪先生现任台湾义守大学教授、大日本印刷株式会终身顾问等职,曾任日本长岗技术科学大学教授、日本精机株式会社董事、台湾成功大学教授等职。东北师范大学横山明聪优