论文部分内容阅读
介绍了采用光谱吸收法实时监测重复频率XeF（C-A）蓝绿激光器中XeF2气体浓度的原理和控制XeF2气体浓度的方法；给出了监测窗中XeF2气体浓度与激光器气室中的XeF2气体浓度之间的关系，获得了在不同主／载气路气流量条件下激光器气室中XeF2气体浓度值，通过调节主／载气路的气流量实现了对激光器腔室内XeF2气体浓度的控制，保证了XeF（C-A）蓝绿激光器1Hz重频运行。