单根电极或沟槽形成的栅格对声表面波的散射

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该文借鉴汪承灏先生研究栅格声表面波散射的技术路线,提出-种既不限制基片和栅格形状、类型,也不限制声波入射方向,可精确计算栅格对SAW散射的有限元通用模型.作为对《超声学》第六章“声表面波”中栅格对声表面波的反射和体波散射-节部分结论的进一步阐释和说明,计算了YZ-LiNbO3和128?YX-LiNbO3单晶上厚度为200nm、宽度为1 m的单根悬浮铝栅条以及沟槽在不同频率下的反射系数曲线.提出的计算方法今后可推广应用于层状结构基底、应用到非规则指条、沟槽、金属点阵、基片端面、台阶等的反射的精确分析,为优
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