【摘 要】
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阐述嵌入式非易失性存储器芯片制造流程中的多晶硅化学机械研磨(CMP)后清洗工艺对随后的多晶硅蚀刻工艺的影响。研究发现CMP的后清洗过程对多晶硅表面的自然氧化层的生长具有显著的影响,从而成为蚀刻后多晶硅源线线宽(CD)的重要影响因素。探讨了CMP后清洗过程对多晶硅表面状态的影响机制,并通过工艺优化显著改善了这些因素对后续蚀刻工艺的影响,从而实现多晶硅源线线宽的精确控制。
【基金项目】
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上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(1500223)。
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阐述嵌入式非易失性存储器芯片制造流程中的多晶硅化学机械研磨(CMP)后清洗工艺对随后的多晶硅蚀刻工艺的影响。研究发现CMP的后清洗过程对多晶硅表面的自然氧化层的生长具有显著的影响,从而成为蚀刻后多晶硅源线线宽(CD)的重要影响因素。探讨了CMP后清洗过程对多晶硅表面状态的影响机制,并通过工艺优化显著改善了这些因素对后续蚀刻工艺的影响,从而实现多晶硅源线线宽的精确控制。
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