【摘 要】
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微阀是微流控系统中起控制限流的重要组成器件.研究的微阀是一种基于微机械加工技术的无活动部件的单向被动阀,其利用通道表面张力的变化产生阻流作用,起到阀的作用.讨论了被
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微阀是微流控系统中起控制限流的重要组成器件.研究的微阀是一种基于微机械加工技术的无活动部件的单向被动阀,其利用通道表面张力的变化产生阻流作用,起到阀的作用.讨论了被动阀的工作机理,利用快速制备原型技术制作微阀,同时在玻璃表面制作憎水薄膜,将玻璃与PDMS基底贴合并施加一定的压力,即可实现微阀的简单封装.取去离子水进行测试,微阀可以成功的停住液流,最大可以产生1kPa的压力降.阀的操作模式试验表明,微阀适合于应用在低压、一次性使用的场合.
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