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采用La-Ni镶嵌靶，通过调节靶面上La,Ni的成份配比，射频溅射制备出多晶LaNi5薄膜，借助XPS和AES对薄膜的表面状况、TEM和XRD对薄膜的颗粒度和相结构进行了研究，对溅淀积过程中衬底温度，氢分压对薄膜结构的影响做了相应的讨论。
溅射条件对LaNi5薄膜结构和组织的影响
【摘 要】
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采用La-Ni镶嵌靶，通过调节靶面上La,Ni的成份配比，射频溅射制备出多晶LaNi5薄膜，借助XPS和AES对薄膜的表面状况、TEM和XRD对薄膜的颗粒度和相结构进行了研究，对溅淀积过程中衬底
【机 构】
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中国科技大学材料科学与工程系,中国科学院固体物理研究所
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1995年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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