【摘 要】
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六氟丁二烯是一种优异的蚀刻气体,应用前景广阔。介绍了六氟丁二烯的性质和应用,根据不同的制备关键中间体对其合成方法进行了分类评析,指出了各种制备方法的优缺点。综合各
【机 构】
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中国船舶重工集团公司第七一八研究所
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六氟丁二烯是一种优异的蚀刻气体,应用前景广阔。介绍了六氟丁二烯的性质和应用,根据不同的制备关键中间体对其合成方法进行了分类评析,指出了各种制备方法的优缺点。综合各方法的特点,指出了今后制备六氟丁二烯的方向。
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