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探讨了274、275超高真空扩散泵油极限真空测试过程中,除气、循环冷却水温度、冷阱及环境温度等因素对测试结果的影响.结果表明,冷阱对测试结果影响不大,除气、循环冷却水温度及环境温度对测试结果影响极大,必须彻底除气同时将温度控制在10～25 ℃,才能准确测试出极限真空度.
超高真空扩散泵油极限真空测试条件的探讨
【摘 要】
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探讨了274、275超高真空扩散泵油极限真空测试过程中,除气、循环冷却水温度、冷阱及环境温度等因素对测试结果的影响.结果表明,冷阱对测试结果影响不大,除气、循环冷却水温度
【机 构】
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中昊晨光化工研究院
【出 处】
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有机硅材料
【发表日期】
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2004年2期
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