论文部分内容阅读
为了解决纳米压印过程中填充率低下,压印图案易发生形变等问题,提出了一种新型振动辅助纳米压印方法.在压印过程中对压印胶施加横向的振动,增大了压印力,从而提高了填充率.运用时域有限差分法(finite difference time domain,FDTD),在波长300 nm～1000 nm范围内,数值模拟了不同光栅结构,得到了光栅结构参数变化对其吸收率的影响规律.在振动辅助装置上进行振动辅助纳米压印实验,实验结果表明:与传统纳米压印技术相比,压印胶的填充率提高了30％,并改善了压印后微结构的表面形貌,减少了缺陷.