薄层软刻蚀法制备PMMA微图案结构

来源 :高分子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lcsj652
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
对现有的软刻蚀方法提出了改进,让其与压印技术及毛细力刻蚀技术相结合形成一种薄层软刻蚀技术,并以这种技术制备出PMMA薄膜微图案化结构.在30mm/h的拉膜速度以及弹性印章表面图形深度确定不变的情况下,PMMA流体能够完全填充到弹性印章的微通道中,SEM和光学显微镜照片证明得到的PMMA微图案是相互分离的.因此,薄层软刻蚀技术可以克服普通微模塑方法制备分离图形困难和纳米压印技术中需要使用巨大机械压力的缺点.
其他文献
<正>进入21世纪,河南经济社会发展将面临几个突出的问题:一是偏重的资源消耗性的产业结构.目前直接依靠原始资源的农业和重工业的增加值比重仍占到一半以上.资源和能源消耗量
对于一个企业来说,不管是国有企业还是私有企业,要保持长久不衰的生命力,就必须具有强大的竞争力。
分别通过改变机械振动注塑机的频率(5-25Hz)和压力(10-18MPa)获得不同条件下成型的PP样条,然后在各种成型条件下的PP样条上分别施加相同的拉伸力(F=125N),进行24h拉伸蠕变实验。结果
通过气相色谱(GC)研究了甲基丙烯酸3-三甲氧基硅丙酯(MPS)在乳液体系各相中的分配行为,并测得了MPS在各种情况下的分配系数.发现当MPS加入量达到聚合物种子的约10wt%时,体系进入饱和
①单击[文件]→[新建文件],新建1个名为"风驰电掣"的文档(文档"宽度"和"高度"可以分别设为"800像素"和"567像素","颜色模式"可以设为"RGB、8位")。
期刊
如果我们安装了多个操作系统,那么在默认情况下,WIN2000在启动菜单时会等待30秒,以便于我们进行选择。为了加快启动速度,我们可以将这个时间缩短一些,具体操作方法如下: 方法
期刊
“五&#183;一”放假七天,阿菜又有时间摆弄他心爱的电脑了。从和眯眯虾离开学校的那一刻起,阿菜就想,我一定要好好利用这7天,让自己的电脑更实用、更快捷、更……一项“疯狂
期刊
我暴暴蓝回来啦!电脑城的工作真是幸苦喔,整天面对一大堆电脑配件,搞得我头昏眼花、天旋地转。不过这些都已经是"过去式"了,我终于又可以和大家一起玩游戏咯,OK!咱们马上开始
期刊