Change Laws of Flake’s Temperature during Making a Diamond Film by DC-PJ

来源 :Journal of University of Science and Technology Beijing(Engl | 被引量 : 0次 | 上传用户：A67793166

【摘要】

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Maldngdiamondfilmbydirectcurrentplasmajetisoneofhightechnologies.DevelopmenttrendofthetechnologyistOgetaIdleareafilmwithgoodqualitybyanequipmentwithhighpowerdir

【出处】

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Journal of University of Science and Technology Beijing(Engl

【发表日期】

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1999年2期

【关键词】

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CVD (Chemical Vapor Deposition) plasma impact heat TRANSFER CVD (Chemical Vapor

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Maldngdiamondfilmbydirectcurrentplasmajetisoneofhightechnologies.DevelopmenttrendofthetechnologyistOgetaIdleareafilmwithgoodqualitybyanequipmentwithhighpowerdirectcurrentplasmajetatPresent[l].However,duringthefilmgrowing,itsbasebodyhasvariabletempera...

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