基于InP/空气隙DBR的长波长RCE光探测器的实验研究

来源 :光通信技术 | 被引量 : 2次 | 上传用户:guojade_2009
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报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光探测器。它采用选择性湿法刻蚀。制备出基于InP/空气隙的分布布喇格反射镜(DBR)。并将该结构的反射镜引入RCE光探测器,所制备的器件,在波长1:585μm处获得了约54.5%的峰值量子效率,以及8GHz的3dB响应带宽,其中器件的台面面积为50×50mm2。
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