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成功实现SiCl4转化成SiHCl3的关键在于开发出适应这种苛刻工况下的新型电加热器。经过分析和实验,提出了＂二次高温处理＂和＂压扁＂的新工艺,彻底排除了电热管填料氧化镁粉中的水分,减小了热态泄漏电流,保证了电加热器在（400～500）℃连续长期稳定地工作8000h。新产品已经成功地应用于工业实际生产中,并打入了国际市场,具有明显的经济效益和社会效益。