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富钛梯度（Ba0.6Sr0.4）TiO3薄膜的介电调谐性能研究

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhengi520

【摘 要】

：

采用溶胶凝胶工艺，在Pt/Ti/SiO2/Si衬底制备了富钛（Ba0.6Sr0.4）TiO3（BST）薄膜和富钛梯度薄膜。利用X射线衍射（XRD）和扫描电镜（SEM）分析测定了BST的微结构和薄膜的表面形貌，研究了富钛含

【作 者】

：

孙小华 付建科 邹隽 王燕 赵兴中 

【机 构】

：

三峡大学机械与材料工程学院,武汉大学物理科学与技术学院

【出 处】

：

功能材料

【发表日期】

：

2007年3期

【关键词】

：

BST 溶胶凝胶 梯度薄膜 介电调谐性能 BST sol-gel grade thin films dielectric tunable properties 

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采用溶胶凝胶工艺，在Pt/Ti/SiO2/Si衬底制备了富钛（Ba0.6Sr0.4）TiO3（BST）薄膜和富钛梯度薄膜。利用X射线衍射（XRD）和扫描电镜（SEM）分析测定了BST的微结构和薄膜的表面形貌，研究了富钛含量和梯度结构对BST介电调谐性能的影响。结果表明富钛薄膜中析出了TiO2相，薄膜的介电常数、损耗和调谐量随着钙钛矿结构（ABO3）中A/B的增加而增加；当A/B为0.68时，有最小的介电损耗0.017；当A/B为1时，有最高的介电常数和调谐量，分别为592%和43.72%。而富钛梯度薄膜因

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