【摘 要】
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利用等离子体增强脉冲激光沉积系统在Si(100)基底上沉积出了高质量的o-BN薄膜,利用红外光谱(FTIR)、X射线衍射谱(XRD)和原子力显微镜照片对o-BN薄膜进行了表征.通过红外光谱(
【机 构】
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天津大学理学院现代材料物理研究所天津市低维功能材料物理与制备技术重点实验室,
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利用等离子体增强脉冲激光沉积系统在Si(100)基底上沉积出了高质量的o-BN薄膜,利用红外光谱(FTIR)、X射线衍射谱(XRD)和原子力显微镜照片对o-BN薄膜进行了表征.通过红外光谱(FTIR)得到o-BN薄膜的红外峰特征峰值为1189 cm-1,1585 cm-1和1450 cm-1;由XRD谱得到o-BN薄膜的(111),(020),(021),(310)和(243)各晶面的衍射峰,特别是(310)和(243)晶面的衍射峰非常强;通过原子力显微镜照片清楚看到BN薄膜具有尖状突起的表面形貌.
High-quality o-BN thin films were deposited on Si (100) substrates by plasma-enhanced pulsed laser deposition system. The o-BN films were characterized by FTIR, XRD and AFM (111), (020) were obtained by X-ray diffraction (XRD). The results showed that the peak of infrared peak of o-BN film was 1189 cm-1, 1585 cm-1 and 1450 cm- ), (021), (310) and (243), especially the diffraction peaks of the (310) and (243) planes are very strong. The atomic force microscope image clearly shows that the BN thin film has sharp projections The surface morphology.
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