多层减反射膜对PERC太阳电池性能的影响

来源 :材料科学与工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhoucun7

【摘要】

：

优化晶体硅材料的光学特性,可有效提高晶体硅太阳能电池的光电转换效率。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法,在钝化发射极和背表面太阳电池(PERC)上成功制备出叠层结构的多层减反射薄膜提升硅材料的光学特性。研究结果表明,正面使用二氧化硅(SiO₂)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅作为器件的叠层介质膜,将SiO₂/Si优良的界面性质和SiNx、氮氧化硅稳定的化学性质结合起来,使器件具有稳定的钝化特性。在叠层结构器件中,SiO₂作为缓冲层有

【作者】

：

庞恒强丁胜卢宁薛凯

【机构】

：

浙江晶科能源有限公司

【出处】

：

材料科学与工程学报

【发表日期】

：

2021年3期

【关键词】

：

钝化发射极和背面电池氮氧化硅薄膜叠层介质膜氢钝化反射率转换效率

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