Pt/PtRh薄膜热电偶的动态性能研究

来源 :传感器与微系统 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhaocd

【摘要】

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鉴于航空发动机部件温度高、温度变化快的特性,本文采用微机电系统(MEMS)工艺制备高温Pt-PtRh薄膜热电偶,分别搭建薄膜热电偶的静态标定和动态响应测试平台,对薄膜热电偶的热

【作者】

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王刚姚锦元王博程萍丁桂甫

【机构】

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上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240;上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海200240

【出处】

：

传感器与微系统

【发表日期】

：

2021年6期

【关键词】

：

Pt-PtRh 薄膜热电偶静态标定动态特性

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鉴于航空发动机部件温度高、温度变化快的特性,本文采用微机电系统(MEMS)工艺制备高温Pt-PtRh薄膜热电偶,分别搭建薄膜热电偶的静态标定和动态响应测试平台,对薄膜热电偶的热电输出特性进行了标定,结果表明:Pt-PtRh薄膜热电偶与标准丝状同材质热电偶的输出特性基本一致,平均塞贝克系数为13.8 μV/K,动态测试的整体响应时间在25 ～40μs范围内,具有很快的响应速度.

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