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利用2.0—2.5MeV He的弹性反冲探测方法,测量了二氧化硅和氮化硅膜层中的氢分布,并给出氢含量与淀积工艺条件的关系.讨论了在给定的实验条件下最大的探测深度、探测灵敏度极限和深度分辨率.
用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布
【摘 要】
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利用2.0—2.5MeV He的弹性反冲探测方法,测量了二氧化硅和氮化硅膜层中的氢分布,并给出氢含量与淀积工艺条件的关系.讨论了在给定的实验条件下最大的探测深度、探测灵敏度极
【机 构】
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中国科学院高能物理研究所; 中国科学院上海原子核所; 华北光电技术研究所 北京; 北京; 上海;
【出 处】
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高能物理与核物理
【发表日期】
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1989年06期
【基金项目】
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中国科学院科学基金
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