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微机电系统是一个新兴的技术领域.阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.
微机电系统（MEMS）技术及其应用
【摘 要】
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微机电系统是一个新兴的技术领域.阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.
【机 构】
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泰山学院物理系
【出 处】
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泰安师专学报
【发表日期】
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2002年6期
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