【摘 要】
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紫外激光具有单光子能量大、易聚焦的特点，且大多数材料对其吸收较强，在标记、复合材料切割、钻孔、精细加工等领域有着广泛的应用。本文报道了一种基于1064 nm红外光，采用非线性光学频率变换技术实现10 W 355 nm紫外脉冲激光输出的全固态实验装置。实验中设计了用888 nm半导体激光器端面泵浦的结构紧凑、功率稳定、光斑质量好的“Z”型声光调Q 1064 nm谐振腔，再利用腔外倍频、腔外和频技术得
【基金项目】
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国家自然科学基金（61975100;62027821;62105192）； 山西省应用基础研究项目（20210302121004）； 山西省重点研发计划项目（202102150101002）； 山西省高等学校创新人才计划； 山西省“1331工程”重点学科建设计划；
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紫外激光具有单光子能量大、易聚焦的特点，且大多数材料对其吸收较强，在标记、复合材料切割、钻孔、精细加工等领域有着广泛的应用。本文报道了一种基于1064 nm红外光，采用非线性光学频率变换技术实现10 W 355 nm紫外脉冲激光输出的全固态实验装置。实验中设计了用888 nm半导体激光器端面泵浦的结构紧凑、功率稳定、光斑质量好的“Z”型声光调Q 1064 nm谐振腔，再利用腔外倍频、腔外和频技术得到355 nm紫外激光。当输入的泵浦功率为80 W、重复频率为50 kHz时，得到了平均输出功率为10 W，光束质量为Mx2=1.13，My2=1.02的355 nm紫外脉冲激光，泵浦光到紫外光的光-光转化效率为12.5%。
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