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介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果。
粉末溅射平面薄膜型SnO2／CeO2酒敏元件
【摘 要】
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介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果。
【机 构】
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济南半导体研究所,山东大学
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2006年B09期
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