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微机电系统(MEMS)麦克风性能可望大幅提升。传统顶部收音麦克风的后室空气容积较小,使得信噪比(SNR)表现受到局限,因此半导体厂家利用创新封装技术,将后共振腔室扩大,以降低杂音,达到更出色的灵敏度。
提升MEMS麦克风灵敏度的设计方法
【摘 要】
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微机电系统(MEMS)麦克风性能可望大幅提升。传统顶部收音麦克风的后室空气容积较小,使得信噪比(SNR)表现受到局限,因此半导体厂家利用创新封装技术,将后共振腔室扩大,以降低
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2014年11期
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