常温氦离子注入纳米钛膜的微结构分析

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【摘要】

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在常温下，用200、100keVHe离子按He-Ti原子浓度比0．1、0．3和0．2的剂量注入纳米钛膜，采用现代表面分析技术对试样进行形貌观察与微观分析。测试分析结果表明：注入前，沉积膜的原子力显

【作者】

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郑思孝罗顺忠等

【机构】

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四川大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室,中国工程物理研究院核物理与化学研究所

【出处】

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原子能科学技术

【发表日期】

：

2002年4期

【关键词】

：

氦离子注入纳米钛膜微结构分析表面分析贮氢材料

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在常温下，用200、100keVHe离子按He-Ti原子浓度比0．1、0．3和0．2的剂量注入纳米钛膜，采用现代表面分析技术对试样进行形貌观察与微观分析。测试分析结果表明：注入前，沉积膜的原子力显微镜（AFM）形貌像呈现从几十至200nm以上极不均匀的晶粒尺度；注入后，3个试样的晶粒均有所长大，且随着注入剂量的增加，其长大趋势更为明显。这些长大的晶粒中同时存在大量的亚结构，表明在高剂量氦离子注入下，导致出现表层晶粒细化现象；He离子注入后的试样在衍射角15°～40°之间出现可辨的衍射峰

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