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论述了TiOx膜的生长机理，详细研究了在电子束加热真空蒸镀膜的过程，蒸汽分压、衬底温度对膜性能的影响。讨论了通过高温高真空蒸镀的方法制备出双层增透膜TiOx／SiOy、TiOx/YOy和TiOx／AIOy，通过应用双层增透膜，太阳电池的短路电流提高36％～48％（硅太阳电池的短路电流提高近48％，砷化镓太阳电池提高近36％）。