中微:中国半导体装备国产化的先锋

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本文所报道的中微半导体设备(上海)有限公司,是我国在集成电路制造设备领域的一个杰出企业。中微多年专攻等离子刻蚀设备的研制,紧跟国际技术前进步伐,现已跻身国际一流行列,在我国半导体设备行业尤其突出。中微在长期坚持自主研发的基础上,不仅拥有多项国际发明专利,而且严格遵守和熟练运用知识产权有关法规,从容应对挑战,从而在高技术产业领域的国际竞争中处处主动。他们的经验在今天新的全球化条件下,尤其值得关注。
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