论文部分内容阅读
本文对微电子机械系统的进展和趋势提出了一些观点性意见，在阐述了微机械技术和ＭＥＭＳ的特点后，强调发展ＭＥＭＳ器件要利用其特点而避免其短处，并为此列举了五个方面成功的ＭＥＭＳ器件。最后，本文讨论了了ＭＥＭＳ进一步发展的趋势和提出了我国发展ＭＥＭＳ的意见。
微电子机械系统进展和趋势
【摘 要】
：
本文对微电子机械系统的进展和趋势提出了一些观点性意见，在阐述了微机械技术和ＭＥＭＳ的特点后，强调发展ＭＥＭＳ器件要利用其特点而避免其短处，并为此列举了五个方面成功的ＭＥＭＳ器件。最后，本文讨论
【机 构】
：
中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室,复旦大学电子工程系
【出 处】
：
功能材料与器件学报
【发表日期】
：
1996年3期
其他文献
1.周转房费用是否应当摊入开发成本问：被拆迁人使用我公司的周转房时,我公司对周转房摊销的费用是否应当计入开发成本？会计上应当如何进行处理？
市场营销风险，是指企业在开展市场营销活动过程中，由于出现不利的环境因素而导致市场营销活动受损甚至失败的状态。企业在开展市场营销活动过程中，必须分析市场营销可能出现的风
目的：应用受试者工作特征曲线（ROC）评价血清骨桥蛋白（OPN）对冠状动脉钙化（CAC）的诊断价值，确定血清OPN诊断CAC的最佳临界值。方法：据64层螺旋CT冠脉造影结果将54例患者分为CAC组（32例）和
在教育过程中应明确主题选择的方向,依据幼儿已有的经验和兴趣,探寻主题来源。灵活地安排各方面的教学内容,从幼儿的生活中选取幼儿感兴趣的主题。每一个主题,其追求的价值取
肇源县财政局充分发挥自身职能作用，积极探索，勇于改革，全力开辟和组织收入，严格控制各项支出，为促进全县国民经济和各项事业健康发展、保持社会稳定做好扎实工作，做出积极贡献。
灾难性事件包括自然性灾难事件和社会性灾难事件，无论是哪个国家．无论是什么样的社会制度，都难以避免灾难性事件的发生。面对灾难性事件．新闻媒体应当坚持及时、准确、客观的新闻
你的硬盘、光盘里一定保存着许多漂亮的图片吧，是不是一张张归类到各个目录中？那么你是否想过把这图片制作成相册？什么，太难。现在有了PhotoFamily，你一定会改变这种看法，PhotoFami