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设计了一种以Cymbal振子为驱动器的新型无阀微压电泵。研究了Cymbal振子的工作过程。在Cymbal振子有限单元模型的基础上,对其工作过程进行仿真分析。通过模态分析得到了Cymbal振子的前5阶固有频率和振型,选出其中最符合工作要求的频率和振型;通过瞬态分析,结合压电耦合分析,得到了振子在方波电压作用下的瞬态动力学特性。