【摘 要】
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介绍了国内外在超薄镜加工工艺方面的研究现状,在对已有的加工工艺改进的基础上进行了超薄镜加工工艺的实验研究,获得了预期中的实验结果,发现超薄镜下盘后由于应力释放而产
【机 构】
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苏州大学现代光学技术研究所,苏州大学现代光学技术研究所,苏州大学现代光学技术研究所,苏州大学现代光学技术研究所 苏州215006,苏州215006,苏州215006,苏州215006
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介绍了国内外在超薄镜加工工艺方面的研究现状,在对已有的加工工艺改进的基础上进行了超薄镜加工工艺的实验研究,获得了预期中的实验结果,发现超薄镜下盘后由于应力释放而产生的形变主要来自像散,在主动调节中应注意对其进行校正。对超薄镜加工工艺实验研究中所获得的一系列经验进行了总结。
The research status of ultra-thin mirror processing technology at home and abroad are introduced. Based on the improvement of the existing processing technology, the ultra-thin mirror processing technology is experimentally studied and the expected experimental results are obtained. It is found that ultra-thin mirror After the deformation due to stress release plate mainly from astigmatism, in the active adjustment should pay attention to its correction. A series of experiences gained in the experimental research of ultra-thin mirror processing technology are summarized.
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