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采用爬山-模拟退火混合优化算法，选取合适的权重因子，改善了衍射光学束匀滑器件的设计性能，其顶部不均匀性小于1％，能量利用率优于95％。采用旋转镂空掩模板，加工出φ180的束匀滑器件，并进行了实验研究，获得了较好的束匀滑光强包络。为获得真实的束匀滑分布、改善顶部均匀性、提高抗波前畸变宽容度，选取特定的焦面采样间隔进行了精细化设计。