TDX-200透射电镜照明系统的计算与仿真

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透射电子显微镜(transmission electron microscopy,TEM)的照明系统包括电子枪和聚光镜,它要求能提供最大亮度的电子束,照射在样品上的电子束孔径角必须能在一定范围内调节,照明斑点的大小可按需要选择。在调试过程中需要预先对照明系统激励参数进行计算。基于TDX-200透射电子显微镜,对双聚光镜照明系统的功能实现进行了理论分析,结合实际尺寸进行了理论计算与实际仿真,并在实际调试过程中进行了初步验证。
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