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根据现阶段表面硅IC工艺微机械的特点，分析了其接触副与动构件的相对运动形式，探讨了基于此加工技术所开发的薄膜型结构微机械的摩擦源及其摩擦产生机理，结合宏机械的发展历史，分析了进行相关摩擦学性能研究的几种方法与问题。
薄膜型硅微机械的摩擦学问题
【摘 要】
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根据现阶段表面硅IC工艺微机械的特点，分析了其接触副与动构件的相对运动形式，探讨了基于此加工技术所开发的薄膜型结构微机械的摩擦源及其摩擦产生机理，结合宏机械的发展历史，分
【机 构】
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上海大学机械电子工程与自动化学院
【出 处】
：
中国机械工程
【发表日期】
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2002年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 ( 5 9875 0 5 5 ),,上海市高校科技发展基金资助项目 ( 96A5 2 )
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