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基于钴硅化物电迁移现象的电熔丝器件的优化设计与研究
基于钴硅化物电迁移现象的电熔丝器件的优化设计与研究
来源 :微计算机信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bobogu
【摘 要】
:
设计了一种完全兼容现有0.18μm标准CMOS工艺的,利用电迁移现象的,价格低廉的电熔丝器件结构。结果表明,在该结构下,通过优化参数,所获得的eFUSE器件结构,熔断后电阻高达10,欧姆数量
【作 者】
:
林昆
何波涌
【机 构】
:
上海交通大学微电子学学院
【出 处】
:
微计算机信息
【发表日期】
:
2009年23期
【关键词】
:
电编程熔丝
电迁移
CMOS集成电路
冗余技术
硅化物
eFUSE
Electromigration
CMOS integrated circuit
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设计了一种完全兼容现有0.18μm标准CMOS工艺的,利用电迁移现象的,价格低廉的电熔丝器件结构。结果表明,在该结构下,通过优化参数,所获得的eFUSE器件结构,熔断后电阻高达10,欧姆数量级,熔断率高达99%,解决了传统结构下中熔丝熔断后电阻太小.局部过热可能产生爆裂的问题。
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