氮硼注入GCr15钢的俄歇分析

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用俄歇电子能谱(AES)分析技术对不同剂量N+离子注入GCr15钢;B+离子单注入;注B+离子后再注入N+离子、注N+离子后再在B+离子;以及镀B后再将N+离子注入GCr15钢的注入结果进行了俄歇深度剖面(AES-PRO)分析,谱图直观的给出了不同方式注入引起GCr15钢表层组份的变化差异,通过比较解释了耐磨性实验结果。 Injecting N + ions after injecting B + ions, injecting N + ions and then on B + ions after Au + ion implantation into GCr15 steel by Auger electron spectroscopy (AES) The Auger depth profile (AES-PRO) analysis was performed on the ion implantation GCr15 steel. The difference of the surface composition of the GCr15 steel caused by different injection methods was intuitively shown. The experimental results of wear resistance were explained by comparison.
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