塑料ITO膜磁控溅射卷绕镀膜机的研制

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【摘要】

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本文介绍了塑料 ITO膜磁控溅射卷绕镀膜机的研制 ,就采用磁控溅射卷绕法制备 ITO膜的设备及成膜过程的一些工艺问题进行了探讨 This paper introduces the development of p

【作者】

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李宪华张文刚郑新

【机构】

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兰州真空设备有限责任公司!甘肃兰州730050,兰州真空设备有限责任公司!甘肃兰州730050,兰州真空设备有限责任公司!甘肃兰州730050

【出处】

：

真空

【发表日期】

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2000年06期

【关键词】

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ITO 镀膜机塑料ITO膜磁控溅射卷绕工艺探讨薄膜成膜过程电致发光器件供气方式

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本文介绍了塑料 ITO膜磁控溅射卷绕镀膜机的研制 ,就采用磁控溅射卷绕法制备 ITO膜的设备及成膜过程的一些工艺问题进行了探讨 This paper introduces the development of plastic ITO film magnetron sputtering coater, and discusses the equipment for preparing ITO film by magnetron sputtering method and some process problems of film formation

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