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随着科技的发展进步,扫描电子显微镜现有检定规程提出的部分校准方法已不适用。本文对扫描电子显微镜放大倍数示值误差的校准提出了新的方法和计算过程,利用像素坐标表征标记线长度,以减少图像输出及测长仪使用过程中引入的误差。
扫描电子显微镜放大倍数校准方法研究
【摘 要】
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随着科技的发展进步,扫描电子显微镜现有检定规程提出的部分校准方法已不适用。本文对扫描电子显微镜放大倍数示值误差的校准提出了新的方法和计算过程,利用像素坐标表征标记
【机 构】
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清华大学深圳国际研究生院
【出 处】
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仪器仪表用户
【发表日期】
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2021年3期
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