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期刊论文
MEMS中的摩擦学研究及发展趋势
MEMS中的摩擦学研究及发展趋势
来源 :润滑与密封 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guanghuisir
【摘 要】
:
对近年国内外MEMS摩擦学研究的新进展作了综述,介绍了MEMS系统的纳米摩擦学特性,讨论了包括环境条件、材料处理、表面改性、固体薄膜润滑、分子超薄膜润滑等在解决MEMS摩擦和
【作 者】
:
李洲洋
陈国定
【机 构】
:
西北工业大学机电学院
【出 处】
:
润滑与密封
【发表日期】
:
2005年04期
【关键词】
:
纳米摩擦学
微机电系统(MEMS)
固体薄膜润滑
超薄膜润滑
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对近年国内外MEMS摩擦学研究的新进展作了综述,介绍了MEMS系统的纳米摩擦学特性,讨论了包括环境条件、材料处理、表面改性、固体薄膜润滑、分子超薄膜润滑等在解决MEMS摩擦和润滑问题上的研究状况,并提出了当前相关研究中所遇到的问题,及今后MEMS摩擦学发展的方向。
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