Gas Source Molecular Beam Epitaxy of High-Quality Strained Si_(1-x)Ge_x/Si Superlatice Mat

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【摘要】

：

ＧａｓＳｏｕｒｃｅＭｏｌｅｃｕｌａｒＢｅａｍＥｐｉｔａｘｙｏｆＨｉｇｈＱｕａｌｉｔｙＳｔｒａｉｎｅｄＳｉ１－ｘＧｅｘ／ＳｉＳｕｐｅｒｌａｔｉｃｅＭａｔｅｒｉｌａｓＬ．Ｆ．ＺｏｕＺ．Ｇ．ＷａｎｇＤ．Ｚ．ＳｕｎＸ．Ｆ．ＬｉｕＪ．Ｗ．ＺｈａｎｇＪ．Ｐ．Ｌ... GasSourceMolecularBeamEpitaxyofHighQualityStrainedSi1-xGex / SiSuperlaticeMaterilasL. F. ZouZ. G. WangD. Z. SunX. F. LiuJ. W.

【出处】

：

电子显微学报

【发表日期】

：

1997年04期

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