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制备一种用于有源矩阵液晶显示、具有对称结构的ＭＩＭ薄膜二极管，其中Ｔａ２Ｏ５膜采用溅射／阳极氧化两步法工艺制成。对绝缘膜进行真空热处理（一步热处理）和经真空热处理后再进行大气热处理（真空／大气两步热处理）。用原子力显微镜和透射电子显微镜分析了Ｔａ２Ｏ５绝缘膜微结构和ＭＩＭ江膜二极管Ｉ－Ｕ特性的影响，并指出了ＭＩＭ薄膜二极管Ｉ－Ｕ特性和绝缘膜微结构之间的关系。